山巍[01](13.5nm工艺制程...) (第6/7页)
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部一片黑暗，若鸿蒙未开的混沌宇宙。
突然前方一个闪亮的光点，先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈，圆圈中心一点亮光逐渐向外扩张，由nj;圆点扩张成椭圆形，光越来越盛、越来越亮，猛然爆发出nj;闪亮耀眼的白光，瞬间照亮黑暗的内部，一条细长nj;发亮的紫光倏然蹿出nj;发光口，通过圆形长nj;管，进入光束矫正器，通过能量转换器……
最nj;终击中直径30μ的靶材料（锡液滴）。
视角追随其中一条光线，忽然向后拉远，视角范围内出nj;现数以万计的紫色细长nj;光线穿过一个又一个圆形长nj;管最nj;后以平均两次击中同一靶材料电离锡原子，释放等离子体，激发纳米级光子，完成光刻机的曝光步骤。
视角再向后拉远，饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由nj;为这号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。
激光经过多重反射镜均匀化、收集，投影掩膜，击中靶材料，获取需求中的等离子体。
接下nj;来是利用收集镜收集等离子体发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统，并经由nj;曝光系统获取最nj;终的ic晶圆。
但盛明安的团队没有做后而nj;的两步，只设计了光源系统的实验设计。
一秒钟五万次的高频率，不仅需要确保过程不出nj;错，还必须保证准度、精确度，可量产，以及功率利用最nj;大化等等……
所以一次的实验结果不能证明什nj;么，他们连续实验多次，记录数据作比对，计算出nj;一个最nj;优概率。
键盘噼里啪啦的计算，所有人屏息以待。
助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊，龇牙咧嘴：“giao！怎么样了？！”
杜颂也疼得龇牙咧嘴，差点猛男落泪：“我不知道。”
助手姑娘又没想nj;要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，内心呜呜穿防尘服的盛工就nj;算从头包到脚还是无比帅气，所以快点告诉她结果吧！
盛明安：“各组报告结果。”
来了！
众人振奋！
一组报告：“二氧化碳脉冲激光器无损，功率消耗在预估范围内，光线利用率成功达到2！”
二组报告：“散热系统启动！散热功能正常！”
三组报告：“传感器反馈激光和液滴同步对准，激光等离子体在预估范围内捕获！”
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